應(yīng)用于KrF 激光器。要求反射率、吸收和散射損耗盡量小，同時(shí)要求閾值盡可能高.
59°1064nm增透膜：
常用于激光器的諧振腔。要求偏振分量的透過(guò)率和閾值都盡可能高。
多波長(zhǎng)及寬帶增透膜代表性產(chǎn)品示例
355nm 532nm 1064nm三波段增透：
應(yīng)用于 Nd:YAG 激光器系統(tǒng)。要求反射率、吸收和散射損耗盡量小，閾值盡可能高。
|
工作波長(zhǎng)（nm） |
工作角度 |
尺寸 (mm) |
透過(guò)率 |
光潔度 （美軍標(biāo)） |
透射面形 （λ =632.8nm） |
閾值 （J/cm2,3ns） |
|
248 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/5 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/4 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
>1 |
|
266 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/10 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/5 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/4 |
>1 |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
>1 |
|
355 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>6 |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>6 |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/8 |
>6 |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.70% |
40-20 |
PV<1/5 |
>5 |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/4 |
>5 |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/3 |
>5 |
|
532 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>8 |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/10 |
>8 |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.70% |
10-5 |
PV<1/8 |
>8 |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.70% |
40-20 |
PV<1/5 |
>7 |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/4 |
>7 |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.70% |
60-40 |
PV<1/3 |
>7 |
|
800 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/10 |
>16 |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/10 |
>16 |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/8 |
>16 |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.80% |
40-20 |
PV<1/5 |
>15 |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/4 |
>15 |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/3 |
>15 |
|
1064 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
>30 |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
>30 |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
>30 |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
>28 |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
>28 |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
>27 |
|
1319 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
- |
|
2090 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ25.4 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
- |
|
2940 |
θ±10° |
Φ12.7 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/10 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ50.8 |
T>99.90% |
10-5 |
PV<1/8 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ300 |
T>99.90% |
40-20 |
PV<1/5 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ600 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/4 |
- |
|
|
θ±10° |
Φ900 |
T>99.90% |
60-40 |
PV<1/3 |
- |
備注:
1.- 表示暫時(shí)無(wú)數(shù)據(jù)。
2.實(shí)際鍍膜后的面形與鍍前裸基板的數(shù)據(jù)相關(guān)。
3.透過(guò)率數(shù)據(jù)與使用角度和帶寬相關(guān)：入射角度越大，使用角度范圍越寬，目標(biāo)帶寬越大，增透膜所能達(dá)到的透過(guò)率降低。
典型產(chǎn)品示例
|
工作波長(zhǎng)（nm） |
工作角度 |
尺寸 (mm) |
透過(guò)率 |
光潔度 （美軍標(biāo)） |
面形 （λ =632.8nm） |
閾值 |
|
225-280 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.00% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>1J/cm2 @248nm,3ns |
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.00% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
|
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.00% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
|
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.00% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
|
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.00% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
θ±1 0° |
Φ900 |
T>99.00% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
355&532 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>8J/cm2 @ 532nm,3ns |
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
|
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
|
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
|
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
θ±10 ° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
800&1064 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>29J/cm2 @ 1064nm,3ns |
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
|
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.80% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
|
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.80% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
|
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
θ±1 0° |
Φ900 |
T>99.80% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
355&532 &1064 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>29J/cm2 @ 1064nm,3ns |
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
|
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
T>99.50% |
10-5 |
PV<1/8 |
||
|
θ±1 0° |
Φ300 |
T>99.50% |
40-20 |
PV<1/4 |
||
|
θ±1 0° |
Φ600 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
θ±1 0° |
Φ900 |
T>99.50% |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
380-800 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
Tave>99.50 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
>8J/cm2 @ 532nm,3ns |
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
Tave>99.50 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
|
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
Tave>99.50 % |
10-5 |
PV<1/8 |
||
|
θ±1 0° |
Φ300 |
Tave>99.50 % |
40-20 |
PV<1/4 |
||
|
θ±1 0° |
Φ600 |
Tave>99.50 % |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
θ±1 0° |
Φ900 |
Tave>99.50 % |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
1900~2200 |
θ±1 0° |
Φ12. 7 |
Tave>99.70 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
平均功率>500 KW/ cm2，峰值功率密度>200 MW/cm2, 2100nm
|
|
θ±1 0° |
Φ25. 4 |
Tave>99.70 % |
10-5 |
PV<1/1 0 |
||
|
θ±1 0° |
Φ50. 8 |
Tave>99.70 % |
10-5 |
PV<1/8 |
||
|
θ±1 0° |
Φ300 |
Tave>99.70 % |
40-20 |
PV<1/4 |
||
|
θ±1 0° |
Φ600 |
Tave>99.70 % |
60-40 |
PV<1/3 |
||
|
θ±1 0° |
Φ900 |
Tave>99.70 % |
60-40 |
PV<1/3 |
備注:
1.實(shí)際鍍膜后的面形與鍍前裸基板的數(shù)據(jù)相關(guān)。
2.透過(guò)率數(shù)據(jù)與使用角度和帶寬相關(guān)：入射角度越大，使用角度范圍越寬，目標(biāo)帶寬越大，增透膜所能達(dá)到的透過(guò)率降低。
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